全自动半导体花篮清洗机
半导体晶圆花篮清洗机主要用于浸泡、清洗特氟龙实验器皿。由于PFA的特点它能耐受清洗溶液的腐蚀性,同时金属元素值低,无溶出无析出,不会污染实验器皿,可有效清洗。其透明度好,平滑的表面,适用于痕量、超痕量分析、同位素分析等实验室,是洁净的实验分析器皿
半导体晶圆花篮清洗机特点:
大批量半导体封装芯片精密在线清洗系统。
喷淋清洗方式,高效清除助焊剂及有机、无机污染物。
半导体晶圆花篮清洗机化学清洗+DI水漂洗+热风干燥流程按顺序完成。
清洗液自动添加;DI水自动添加。
清洗液喷射压力可调节,对应不同清洗要求。
大流量和高压力配合,清洗液和DI水可完全渗透至器件微间隙,清洗彻底。
半导体晶圆花篮清洗机配备漂洗电阻率监控系统,检测漂洗DI水水质。
风刀风切+超长红外热风循环干燥系统。
PLC控制系统,中/英文操作界面,程序方便设置,更改,存储和调用。
SUS304不锈钢机身,管道及零部件,耐温,耐酸性、碱性等清洗液。
半导体晶圆花篮清洗机可与前后设备连接,组成自动清洗线。
清洗液浓度监测等多种选配配置。
外观半透明,易观察槽内试剂情况;
耐高低温:-200~+260℃
半导体晶圆花篮清洗机耐腐蚀:耐强酸、强碱、王水、HF和各种有机溶剂;
耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;
防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;
低的溶出和析出,不会污染实验器皿等;
半导体晶圆花篮清洗机化学性能稳定,可恢复性好,不易变形;
特氟龙塑料,经久耐用,不易碎。
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