自动晶圆卡盒清洗机

全自动晶圆卡盒清洗机功能描述：

喷淋区：共2道高压纯水冲洗（1-3道喷淋可以量身设计）；

风切区：采用高压鼓风机，配合***率风刀，共4-6组上下风刀强力切水；

全自动晶圆卡盒清洗机干燥区：热风循环干燥箱采用50mm厚度的保温绝热材料制成，由风机吹热风并经***空气过滤网过滤后形成内部空气从底部至上部再回至底部的循环热风，使工件快速完全干燥；

特征：PLC控制、触摸屏操作，过滤循环系统、数字显示温度控制指示器 故障报警诊断功能设备自动运行 。

结构：该系统由上料区、高压喷淋区、风切区，干燥区、下料区等组成。

全自动晶圆卡盒清洗机适用于：半导体、电子行业、手机玻璃，触摸屏、电脑硬盘，新能源电池等零件包装盒的回收利用清洗；由清洗槽、喷淋清洗系统、自动输送系统、高压风切系统，自动温控系统、循环过滤系统、热风循环干燥系统、电控系统等组成。

采用链条式自动输送系统，人工在进料口放入工件（产品平放），中间清洗干燥自动实现，不用人工控制操作，清洗后的工件在下料口人工卸下。设备清洗效率高、操作简单、自动化程度高，是理想的清洗设备。

全自动晶圆卡盒清洗机通用参数：

1）清洗部分设计为全封闭结构，设备腔体无漏水现象

2）清洗过程为全自动，并有自动/手动功能

3）清洗时间能自动控制，时间可调，状态显示

4）全自动晶圆卡盒清洗机可预加热，加热部分确保一小时内达到设定工艺温度值

5）所有循环泵、风机、马达都标有旋转方向

6）阀门上都标有常开、常闭的标识，所有管路上都标有液体流向的箭头

7）全自动晶圆卡盒清洗机管道尽可能使用焊接工艺，只是为了机器维修和运输方便的部分才使用法兰连接

8）每个槽均设排液口，排液口装有可拆卸式防堵网，以防止小零件脱落进入管道中阻塞管道

9）安装活动门，方便快速维修管道、过滤器、泵、加热器等部件，保证生产需要

10）全自动晶圆卡盒清洗机安全方面：各段温度过热后系统能自动断电并有声光报警

11）噪声方面：设备设计为全封闭机构，距设备1.5米、高1米处，测得噪音平均≦85分贝

12）相应槽内有液位过低报警及连锁功能

全自动晶圆卡盒清洗机电控柜说明：

1）.独立控制柜,有手动和自动切换功能

2）.本系统采用德国“西门子”PLC和触摸屏,能控制显示清洗机各工位运行状态

3）. 全自动晶圆卡盒清洗机储液槽安装液位控制器，液位高低控制均接入PLC，加热及泵浦按即定程序运行，并设有蜂鸣器、配三色工作指示灯，声光报警装置

4）. 上下料处安装紧急停车按钮

5）.清洗机操作按钮分布在电控柜外侧，布置在清洗机进口操作工位一侧，控制盘加密码锁定，防止非授权人员修改并设定运行参数

6）. 全自动晶圆卡盒清洗机考虑到屏柜内设备的散热问题，屏柜设有散热窗口及加装散热风扇

7）.照明：电器柜内——日光灯，电气柜内维修照明及插座

8）. 各操作按钮有明显标识.