自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机可提供TGV各制程配套湿法清洗设备：

基板材料:石英玻璃、硼硅玻璃、高铝玻璃、蓝宝石玻璃等

基板尺寸：4英寸,6英寸,8英寸晶圆,2-8英寸方片、矩形片,厚度0.1~5mm

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机用于晶圆激光打孔前后，玻璃腐蚀后，溅射前，磨抛后，光刻前，全工艺完成后的清洗干燥，通过特定的清洗液，在超声溢流等不同槽体功能的辅助下将基板表面的颗粒油污等清洗干净，达到生产过程工艺要求。

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机作用为先通过激光诱导后，通过湿法腐蚀的方式，对基板做一些通孔或微结构。基板性质：深径比＞50：1，Zui小孔径 10 微米；

可在湿法刻蚀条件下， 晶圆表面的金属膜层进行曝光显影后，对金属进行图形化刻蚀；

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机参数说明：

外形尺寸：2000×1120 ×1000 mm

加工版面：≤宽600mm(长度不限)

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机工作形式：连续进料、双面喷淋式

过滤形式：供液过滤+下料过滤

加热系统：钛合金防腐加热

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机工作温度：-10-50度（自动恒温）

蚀刻速度：无级调速

功 率：3.5kw/380V

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机控制系统：蚀刻开关、单双面蚀刻控制开关、自动温控、水平轮片传送（无级调速）

注：该机可按具体需求，针对性设计；

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机技术参数：

1．温度范围：室温+5℃～55℃

2．温度均

4．盐雾沉降量：1~2ml/h.80cm2

5．全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机喷雾方式：连续、间隙喷雾任意选择

6．试验定时 ：1～999（S、M、H）可调匀度：≤2℃

7．温度波动度：≤±0.5℃

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机特点：

通过高压喷淋及被蚀刻板直线运动形成连续不间断进料状态进行对工件腐蚀以提高生产效率；

全自动TGV晶圆玻璃金属膜层曝光显影后图形化刻蚀清洗机加大了喷淋与被蚀刻金属板的有效面积和蚀刻均匀程度，无论在蚀刻效果、速度和改善操作者的环境及方便程度，都优于泼溅式蚀刻；

经反复实验喷射压力在1-2 Kg/cm2的情况下被蚀刻工件上所残留的蚀刻圬渍能被有效清处掉，使蚀刻速度在传统蚀刻法上大大提高，由于该蚀刻机液体可循环再生使用，此项可大大降低蚀刻成本，也可达到环保加工要求。 ·该双面腐蚀机可配备自动烘干烘烘道，自动双面显影机，自动上色机，数控制版机，堆金电镀机可达到各种金属加工行业的批量加工要求；

此机适合单双面图文腐蚀，亦能雕穿金属形成镂空效果，适合现有仍采用较老式的泼溅式蚀刻机或其它金属加工厂升级设备。