全自动晶圆研磨抛光后预刷洗机

全自动晶圆研磨抛光后预刷洗机用于清洗已划片完成的工件，对切割道进行清洗，以便后续UV解胶工作。晶圆清洗机的主要工艺是水清洗、二流体清洗、甩干，其中不同种类工件使用不同的流量、压力等等。本图纸为成熟产品的图纸，已在市面上各大公司使用，大部分为国产元器件，对比国外清洗机不仅具有相当强的优势，且在使用上和工艺上不落下风。

全自动晶圆研磨抛光后预刷洗机化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF，H2SO4，H2O2，去蜡腐蚀设备，HCL等酸碱液体按一定比例配置，目的是为了去除杂质，去离子，去原子，后还有DI清洗。IPA是，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。

全自动晶圆研磨抛光后预刷洗机采用等离子处理的优点：

1，  经等离子处理后可增加材料表面张力、增强粘接强度，从而提高产品质量；

2，  可替代热融胶，使用冷粘胶或低牌号普通粘合剂来保证粘结质量。减少胶水使用量，有效降低生产成本；

3，  全自动晶圆研磨抛光后预刷洗机采用等离子工艺，去蜡清洗设备，可使UV上光、PP覆膜等难粘合材料使用水性胶水都粘得很牢。并淘汰机械打磨、打孔等工序，不产生灰尘、废屑，符合药品、食品等包装卫生安全要求，有利于环保；

4，  等离子处理工艺不会在被处理材料表面留下任何痕迹，肉眼分辨不出来有被处理加工；

5，等离子因为是电离气体，去蜡清洗机，因而，没有废气废水等污染物排放，安全环保。

全自动晶圆研磨抛光后预刷洗机特点：

1、摄像头类模组类产品表面粉尘，杂质专用清洗机器；

2、镜面锈钢一体化封闭机身，对工作环境无污染，适合无尘车间使用要求；

3、全自动晶圆研磨抛光后预刷洗机可更换清洗盘清洗多种产品，清洗盘按产品定做；

4、PLC自动控制，操作方便快捷；

5、透明防爆前门，安全作业，便于观察；

6、全自动晶圆研磨抛光后预刷洗机全系统仪表显示，随时监控清洗状况；

7、采用二流体清洗，清洗精度高，对产品零损伤，纯水消耗量极小；

8、旋转式喷杆，避免二次污染产品；

9、全自动晶圆研磨抛光后预刷洗机配备静电消除装置、腔壁加热装置，辅助清洗达到zuijia效果；

10、配备2级空气过滤系统，压缩空气符合ISO8573、1标准；

11、机身紧凑，占用面积小；

12、完全使用超纯水清洗，符合RoHS标准。