全自动石英舟清洗机

石英舟清洗机清洗石英舟时，将石英舟的支架安放在酸洗槽底部，骑跨在用于清洗转动石英管石英管的传动轴的上方，将要酸洗处理的石英舟置放在此支架上进行酸洗处理。酸洗结束后，通过PLC控制的气动隔膜泵将酸液泵进另一个槽，然后酸洗槽两侧的喷淋管对石英舟喷淋或者用进DIY水进行漂洗（由操作者决定采取哪种方式处理或同时处理均可），漂洗结束后再用氮气人工吹干

石英舟清洗机清洗石英管时，取出骑跨在用于清洗转动石英管的传动轴上方的支架，将4个石英管人工抬进酸洗槽内，先进行酸洗，酸洗结束后，通过PLC控制的气动隔膜泵将酸液泵进另一个槽，然后酸洗槽两侧的喷淋管对石英舟喷淋或者用进DIY水进行漂洗（由操作者决定采取哪种方式处理或同时处理均可），漂洗结束后再用氮气人工吹干。清洗石英舟与清洗石英管不能同时在一个工艺槽内进行。

石英舟清洗机处理石英管的尺寸

本机器可处理1200~1500片的石英舟(1370X200X147),单槽可以同时放置2个石英舟，也可以处理直径为330mm、长度Zui大为2900mm的石英管

石英舟清洗机总构

机器采用框架式结构，框架外覆聚丙烯板，整机为全封闭结构，避免环境污染。

石英舟清洗机动作及工艺流程

该设备内设两个槽，两个槽功能对等，如果一个槽用于酸洗、漂洗；则另一个槽可以用于储存酸液，便于酸液回用。

操作方式 PLC控制，手动/半自动/自动

适用领域 半导体、光伏

石英舟清洗机适用工艺 对石英炉管、石英舟腐蚀清洗

清洗方式 酸液浸泡、水槽清洗、高压喷射、氮气鼓泡

石英管转动   自动

石英管上下料    自动/手动

可清洗尺寸   2吋--12吋石英炉管、石英舟