全自动晶圆去光刻胶刀洗去胶机
更新时间：2024-08-03 14:59:23
价格：￥650000/台
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详细介绍
1. 全自动晶圆去光刻胶刀洗去胶机用于8、12寸晶圆、玻璃产品表面光刻图形光刻胶的去除清洗，包含CFM工艺产品；
2.刀洗工位可同时放置8“或12”晶圆两片；
3.晶圆旋转同时可上下升降，增强刀洗效果；
4. 全自动晶圆去光刻胶刀洗去胶机喷淋系统增压泵，可增加喷淋刀洗效果；
5.配置QDR漂洗槽及N2烘干槽，保证干进干出；
6.刀洗后表面无胶块残留、脏污异色、蕴含液残留等；无产品异色、胶面损伤、产品裂片等现象。
7. 全自动晶圆去光刻胶刀洗去胶机牙齿under-cut内光阻颗粒无残留，去除表面60%光阻颗粒残留。
8.破片率：200μm以下厚度≦1/3000，250μm以下厚度≦1/3000，250μm以下厚度≦1/10000（非人为因素）
